真钱投注 传芯半导体肯求EUV掩模基版过火制造材干专利,不错使EUV掩模板很好地得志EUV光刻时刻的发展条目

发布日期:2026-02-17 11:55    点击次数:163

真钱投注 传芯半导体肯求EUV掩模基版过火制造材干专利,不错使EUV掩模板很好地得志EUV光刻时刻的发展条目

国度常识产权局信息泄露,上海传芯半导体有限公司肯求一项名为“EUV掩模基版过火制造材干、EUV掩模板过火制造材干”的专利,公开号CN121522946A,肯求日历为2025年12月。

{jz:field.toptypename/}

专利纲领泄露,一种EUV掩模基版过火制造材干,及EUV掩模板过火制造材干,该EUV掩模基版包括:透明基板、反射膜、保护层,以及,硅层和/或金属层,透明基板的一侧名义树立有反射膜,反射膜具有多层钼硅轮流层,开云app保护层树立在反射膜上,硅层和/或金属层树立在保护层上,且硅层和/或金属层具有预设厚度。上述的EUV掩模基版约略在保证EUV掩模板具有富余晖学对比度的前提下,尽可能地减小EUV掩模板的图案化的接收层的厚度,不错使EUV掩模板很好地得志EUV光刻时刻的发展条目,真钱投注app官网且该EUV掩模基版约略有用进步EUV掩模板的分娩成果,利于从简EUV掩模板的制变成本。相应地,本发明还提供EUV掩模基版的制造材干,及EUV掩模板和EUV掩模板的制造材干。

天眼查贵府泄露,上海传芯半导体有限公司,栽种于2020年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册成本9376.6144万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,上海传芯半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标名目6次,财产印迹方面有商标信息14条,专利信息123条,此外企业还领有行政许可17个。

声明:市集有风险,投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不组成个东说念主投资提倡。

本文源自:市集资讯

作家:谍报员